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SF500 挠性线路系列干膜光阻剂

    SF500 挠性线路系列干膜光阻剂

SF500 挠性线路系列干膜光阻剂是一种具备高解析度、高附着力的全水溶性干膜光阻剂,专用于性线路板以及内层蚀刻工艺。具有优良的密着性、解像度,可有效地提高高密度线路板形成时的良品率。

特色及优点

高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距

**的贴合度-高良率

高附着力-高良率

特有的感光速度-50-60 mj/cm2 能量可达7级曝光尺(21级)

优越的剥膜性能和快的褪膜速度

项目
单位
SF510
SF512
备注
厚度
μm
25
30

感度*1
mj/cm2
45
55

最短显影时间
sec.
13
15

附着力*1*2(L/S=X/250)
μm
21
25

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
20
20

*1:SF512(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2

*3:分辨率、解析度以及显影后图像。



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