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MP500 选化沉金系列干膜光阻剂

    MP500 选化沉金系列干膜光阻剂

MP500 选化沉金系列干膜光阻剂特别针对高解析度线路,具有优秀的耐碱性蚀刻性能。MP515和MP520可几乎应用于所有电镀工艺,包括镀金。

特色及优点

极好的耐碱性蚀刻性能

高解析度

较好地应用于图形电镀

较好地应用于直接电镀

用于沉金电镀工艺过程

盖孔能力优异

镀金性能可达100μin

项目
单位
MP515
MP520
备注
厚度
μm
40
50

感度*1
mj/cm2
70
90

最短显影时间
sec.
45
55

附着力*1*2(L/S=X/250)
μm
40
50

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
30
40

盖孔孔径
μm
6.0
7.0

*1:MP515(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2

*3:分辨率、解析度以及显影后图像。



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