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MA300 图形电镀系列干膜光阻剂

    MA300 图形电镀系列干膜光阻剂

MA300 图形电镀系列干膜光阻剂是一种具备自动检测能力、**率、全水溶性的干膜光阻剂,可使用于内层和外层的应用。本产品在酸性蚀刻、盖孔与蚀刻和酸性电镀制程中均有突出表现。

特色及优点

高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距

**的贴合度-高良率

高附着力-高良率

**的图像显示对比,具备自动光学检测能力

特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2

项目
单位
MA312
MA315
备注
厚度
μm
30
38

感度*1
mj/cm2
25
30

最短显影时间
sec.
20
25

附着力*1*2(L/S=X/250)
μm
25
30

解析度*1*2(L/S=X/X)
μm
25
30

盖孔孔径
μm
//
6.5

*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11

*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2

*3:分辨率、解析度以及显影后图像。



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